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傳感器在近現(xiàn)代主要的制造工藝有四種，分別是集成傳感器、薄膜傳感器、厚膜傳感器和陶瓷傳感器。1、集成傳感器集成傳感器的生產(chǎn)工藝，和生產(chǎn)標準硅基半導體集成電路工藝是基本相同的。傳感器通過集成方式進行制造后，可以獲得更小的體積并集成更多的功能，部分集成傳感器可以擁有一部分處理功能，來處理被測量信號。2、薄膜傳感器薄膜傳感器的制造涉及了納米等先進技術，薄膜傳感器的制作方法是在介質襯底也是基板上，用敏感材料形成一層薄膜。薄膜傳感器在制作時也可以復合一些電路系統(tǒng)，這需要使用到混合工藝。3、厚膜傳感器厚膜傳感器和薄膜傳感器相對應，也是在基片上形成膜來進行制造，區(qū)別是厚膜傳感器是在陶瓷制造的基片上，用敏感材料的漿料進行涂覆。厚膜傳感器的制造材料多是氧化鋁，涂層形成后進行熱處理，這樣厚膜即可成型。
碳化硅精細陶瓷生產(chǎn)配套技術獲牡丹江市科技成果一等獎中國設備網(wǎng)文字選擇：大中小近日，20122013年度牡丹江市科技獎勵評審會議召開。36項科技成果終通過評審，獲得牡丹江市科技進步獎。據(jù)介紹，20122013年度市科技進步獎共受理申報42項。通過形式審查，有38項提交行業(yè)組進行評審。經(jīng)市科學技術獎勵委員會研究，有36項提交評審會議。會上，科技成果負責人進行了現(xiàn)場說明、答辯。專家評委通過投票的形式差額評出一、二等獎，差額項目順落下一等級，并表決評定了三等獎。終，會議產(chǎn)生了年產(chǎn)5萬件碳化硅精細陶瓷生產(chǎn)配套技術等5項科技成果一等獎，15項科技成果二等獎，16項科技成果三等獎。信息來源：中國磨料磨具網(wǎng)。
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